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一家专业研制、生产电涡流位移传感器、振动速度传感器及相关测试仪表的高科技企业

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ZH9700系列电涡流位移传感器

 ZH9700测量系统采用电涡流技术在不接触目标的情况下测量位移。非常适合需要高分辨率和高性价比的应用。ZH9700系统采用本公司最新的基于相位域检波以及脉宽调制平滑滤波专利技术、配合表面贴装元件以及合理的印刷电路板设计,只需要简单的低功耗单电源供电 ,消除了传统线性放大器的噪声,从而将位置/运动分辨到纳米级别、甚至埃米级亚原子尺寸。
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产品描述
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          ZH9700测量系统采用电涡流技术在不接触目标的情况下测量位移。非常适合需要高分辨率和高性价比的应用。ZH9700系统采用本公司最新的基于相位域检波以及脉宽调制平滑滤波专利技术、配合表面贴装元件以及合理的印刷电路板设计,只需要简单的低功耗单电源供电 ,消除了传统线性放大器的噪声,从而将位置/运动分辨到纳米级别、甚至埃米级亚原子尺寸。

      通过在线性度和分辨率上进行权衡,ZH9700的量程可以超过传感器探头直径的50%。一般来说,线性度最好的系统热稳定性不会最佳;要获得最佳热稳定性将牺牲传感器的线性度。如果对传感器的非线性参数特别关注,通常情况下,对于非磁性测量目标,满足0.05%满刻度输出(FS/°C)的热稳定性时,在测量范围约等于传感器探头直径10%的位置时其非线性度将降低至1%。在这个范围内,如果需要达到最佳线性,如果温度稳定性要求降低时 (标准温度系数=0.05% FS/°C)、系统的非线性度可调节到小于1% 。同样,如果温度是更关键的参数,在这个温度范围内系数可调节低至0.01% FS/°C,而此时传感器的非线性通常增加到±3%。 可提供五阶多项式曲线拟合线性系数供客户处理器使用,以达到大约0.01% FS的线性性能。

       通常,在设计周期的早期考虑时,这些权衡很容易通过测量量程、传感器尺寸和目标材料的正确选择进行管理。通过计算机建模,我们可以为您提供应用程序特有的规范。同时,我们提供传感器和电子设备的初步机械外形图纸,安装规定、操作和存储温度以及其他参数。

       基于特殊的传感器检测原理,ZH9700系列电涡流位移传感器是所有不同原理的电涡流位移传感器中唯一的动态分辨率大于静态分辨率的传感器,这个特点对于微振检测具有巨大的优势!

主要技术指标:

埃米级超高分辨率(1纳米=10埃米,1nm=10Åm)

高信噪比:1PPM

高精度:采用计算机进行线性纠正,精度可达0.1% FS

多种通道选择:单通道、双通道、三通道、四通道多种配置

探头选择:多种规格探头,适合OEM定制

探头电缆规格:2米(特殊要求除外),RG178柔性同轴电缆

量程:0.5mm~4mm

供电电源:+12~+30V DC   < 15mA/每通道

频率响应:DC~10KHz(-3dB)

信号输出模式: 0~5V   -5V~5V(可选)

非线性:≤±10%,<0.1%(当采用五阶多项式拟合时)

目标靶材质:纯铝(特殊材质除外)

静态分辨率:最小5nm

动态分辨率:最小0.5nm

工作温度范围:建议恒温环境使用    

主要应用范围:

精密加工和磨削

主轴径向/轴向跳动

主轴膨胀

镜面对准

光学级定位

计量测量等

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